>>>技術(shù)參數(shù)>>>

一、對原料氬氣要求

1. 一般瓶裝純氬，液氬、控制較好的管道氬氣；

2. 雜質(zhì)要求：O2≤500PPm，H2O≤500PPm；

二、輸出純氣

1. 純度：99.9998%；

2. 雜質(zhì)含量：

a. O2≤0.3PPm；

b. H2O≤0.2PPm(即露點(diǎn)≤－86℃)；

c. CO+CO2≤0.1PPm；

d. S、P的氧化物≤0.1PPm；

3. 塵埃粒子數(shù)（≥0.3μm）3-5個／升；

4. 處理氣量：4M3/h；

5. 設(shè)備尺寸：360mm×560mm×1000mm。