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杭州雅視特玖智能科技有限公司
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氬氣凈化機(jī)
- 名稱：氬氣凈化機(jī)
- 型號(hào)：YST3000N
- 品牌：雅視特
- 編號(hào)：F67
>>>技術(shù)描述>>>
一、對原料氬氣要求
1. 一般瓶裝純氬，液氬、控制較好的管道氬氣；
2. 雜質(zhì)要求：O2≤500PPm，H2O≤500PPm；
二、輸出純氣
3. 純度：99.9999%；
4. 雜質(zhì)含量：O2≤0.2PPm；
5. H2O≤0.2PPm(即露點(diǎn)≤－85℃)；
6. CO+CO2≤0.1PPm；
7. S、P的氧化物≤0.1PPm；
8. N2≤0.2PPm；
9. 塵埃粒子數(shù)（≥0.3μm）3-5個(gè)／升；
10. 處理氣量：4M3/h；
11. 設(shè)備尺寸：360mm×560mm×1000mm。
